在线留言 | 联系我们 | 更多分站 欢迎您来到东莞鹏达真空科技有限公司官方网站!
专业、高效、创新的工程技术队伍从事真空设备的销售、研发设计、维修团队
全国服务热线 137-1235-1769
137-1235-1769
联系我们Contact us
全国咨询热线137-1235-1769

东莞鹏达真空科技有限公司

公司地址:广东省东莞市寮步镇寮步金富路33号2号楼201室

联系电话:137-1235-1769

公司邮箱:jx5518@163.com

爱德华真空泵

IH600

应用l 负载锁定l 转换l 计量l 平版印刷l PVD制程l PVD预清洁l RTAl 剥离/灰化l 刻蚀l 植入源l HDP CVDl

在线咨询全国热线
137-1235-1769

应用

l   负载锁定

l   转换

l   计量

l   平版印刷

l   PVD制程

l   PVD预清洁

l   RTA

l   剥离/灰化

l   刻蚀

l   植入源

l   HDP CVD

l   RTP

l   SACVD

l   MCVD

l   PECVD

l   LPCVD

l   ALD


功能与优势

l   优化了设施消耗

l   无需预防性维护

l   悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理

l   在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的CVD应用条件下的稳定性

l   耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体

l   较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证

l   轴杆一体化设计无需电机联轴器,第五抽排级免除对消音器的需求,也避免了颗粒堆积,两者均减少了总体占地空间


泵系列

实践证明,Edwards高级半导体真空泵能够达到最高运行标准。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。

iH系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的PECVD和LPCVD制程)提供了高可靠性。

·iH80

·iH160

·iH600

·iH1000

·iH1800

·iH1800HTX



本文标签:
在线客服
联系方式

热线电话

137-1235-1769

上班时间

周一到周五

公司电话

137-1235-1769

二维码
线