【真空设备】真空设备捡漏方法有哪些

　　真空设备的检漏方法和检测仪器多种多样。根据使用的仪器类型，可分为卤素检漏仪法、氦质谱检漏仪法和其他类型的检漏方法。根据被检测真空室的不同状态，也可分为压力检漏法和真空检漏法。

　　1.压力检漏法将泄漏指示物质以一定压力注入待测真空室。如果真空室上有泄漏孔，泄漏指示物质将从泄漏孔泄漏。使用一定的仪器或方法检测从真空室外的泄漏孔泄漏的泄漏指示物质，以判断泄漏孔的存在、具体位置和泄漏率。

　　目前，真空系统泄漏检测方法属于压力泄漏检测方法，包括：

　　水压法。水力法的最小可检测泄漏率为1.3-5.3×10PaLs。

　　压降法。压降法的最小可检测泄漏率为1.3pals；

　　倾听方法。监听法的最小可检测泄漏率为5.3pals；

　　超声波法。超声波法的最小可检测泄漏率为1.3pals；

　　气泡法。气泡法可分为气泡法和肥皂泡法。在正常情况下，气泡法的最小可检测泄漏率为10-10pals，而24小时后的累积泄漏率可达到10-10pals；肥皂泡法的最小可检测泄漏率为6.7×10PaLs。

　　卤素检漏器吸嘴法。卤素检漏器吸嘴法的最小可检测泄漏率为10-10pals；

　　氨泄漏检测方法。氨泄漏检测方法因工作条件（充满气体）不同，最低检测率不同；

　　放射性同位素气体法。放射性同位素气体法的最小可检测泄漏率为1.3×10PaLs。氦质谱检漏仪吸嘴法。氦质谱检漏仪吸嘴法的最低检出率为10-10pals。

　　2.真空检漏方法由于被检真空室和检漏装置的敏感元件处于真空环境中，因此在被检真空室外部施加泄漏指示物质。如果被检真空室中存在泄漏，泄漏指示物质将通过泄漏进入真空室和检漏装置敏感元件所在的区域，然后敏感元件将检测泄漏指示物质，以检测泄漏的存在，确定具体位置和尺寸。

　　真空系统检漏方法属于真空检漏方法，包括：

　　1。真空计泄漏检测方法。真空计检漏方法中用于真空检漏的设备包括热电偶或电阻真空计、电离真空计、导热真空计差动组合、电离真空计差动组合、导热真空计、液氮冷却活性炭捕集器、冷阴极电离计、，液氮冷却硅胶捕集器等。最小可检测泄漏率低至10pals，高达10pals；

　　2.高频火花检漏法的最低检出率为1-10pals；

　　3.放电管法的最小可检测泄漏率为1-10pals；

　　4.静态升压法的最小可检测泄漏率为10-10pals；

　　5.氦质谱检漏法的最低检出率为1010pals。6.离子泵检漏法的最低检出率为1010pals；

　　7.卤素检漏仪内探头法的最低检出率为10-4×10PaLs。氢钯法的最小可检测泄漏率为10-10pals；

　　3.真空设备的检漏方法还有放射性同位素法、荧光法等。除此之外，相信很多人对真空设备真空泵有什么作用不太了解，一起来看一下。